特許
J-GLOBAL ID：200903082657671110

ポリシロキサンおよび感放射線性樹脂組成物

発明者：
岩沢 晴生

岩沢 晴生 について

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林 明弘

林 明弘 について

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下川 努

下川 努 について

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山本 將史

山本 將史 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-048643
公開番号（公開出願番号）：特開2003-020335
出願日： 2002年02月25日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 193nm以下、特に157nm以下、さらには147nm、134nm等の波長においても透明性が高く、かつドライエッチング耐性に優れた新規ポリシロキサンおよび該ポリシロキサンを含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)に示す構造単位(I)および/または構造単位(II)を有し、かつ酸により解離する酸解離性基を有するポリシロキサン。【化1】〔一般式(1)において、R1 はフッ素原子あるいはフッ素化アルキル基で置換された1価の芳香族基、またはフッ素原子あるいはフッ素化アルキル基で置換された1価の脂環式基を示し、R2 は前記1価の芳香族基、前記1価の脂環式基、水素原子、ハロゲン原子、1価の炭化水素基、ハロゲン化アルキル基またはアミノ基を示す。〕感放射線性樹脂組成物は、(イ)前記ポリシロキサン並びに(ロ)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)に示す構造単位(I)および/または構造単位(II)を有し、かつ酸により解離する酸解離性基を有する、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定したポリスチレン換算重量平均分子量が500〜1,000,000のポリシロキサン。【化1】〔一般式(1)において、R1 はフッ素原子および炭素数1〜10のフッ素化アルキル基の群から選ばれる少なくとも1種の基で置換された炭素数6〜20の1価の芳香族基、またはフッ素原子および炭素数1〜10のフッ素化アルキル基の群から選ばれる少なくとも1種の基で置換された炭素数3〜15の1価の脂環式基を示し、R2 はフッ素原子および炭素数1〜10のフッ素化アルキル基の群から選ばれる少なくとも1種の基で置換された炭素数6〜20の1価の芳香族基、フッ素原子および炭素数1〜10のフッ素化アルキル基の群から選ばれる少なくとも1種の基で置換された炭素数3〜15の1価の脂環式基、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20の1価の炭化水素基、炭素数1〜20のハロゲン化アルキル基、または1級、2級もしくは3級のアミノ基を示す。〕
IPC (4件)：
C08G 77/22 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
C08G 77/22 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (24件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC03 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BF30 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  4J035BA02 ,  4J035BA04 ,  4J035BA12 ,  4J035BA14 ,  4J035CA16N ,  4J035CA161 ,  4J035CA222 ,  4J035LB16
引用特許：
審査官引用 (14件)
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