特許
J-GLOBAL ID：200903076402608309
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291619
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108602
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバ-を減衰しやすくし 試料表面凹凸に追随しやすくし 試料表面凹凸形状 および カンチレバ-が離れるときの時間的遅れ(位相)から試料表面の物性の違い を測定することを課題とする。【解決手段】 カンチレバ-の加振周波数をQカ-ブの半値幅の周波数帯の両外側とすることで レバ-の減衰をしやすくし、試料表面に対する追随性を高めた。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバ-のレ-ザ反射面に照射するレ-ザとレ-ザの反射光の位置を検出する光位置検出器と試料を移動させる試料移動手段とカンチレバ-を一定周期で所望の振幅量で振動させるレバ-加振手段からなりカンチレバ-の探針が試料表面に接触したとき振幅量の減少分を光位置検出器でとらえて減少した振幅量が一定になるように試料移動手段の上下動作を制御することで上下動作の操作量から試料表面の凹凸形状情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバ-の加振周波数と振幅量の依存曲線(Qカ-ブ)の半値幅となる周波数帯の両外側をレバ-加振周波数とすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/16 A
, G01N 13/10 D
