特許
J-GLOBAL ID：200903076598699625
グレートーンマスク及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-386050
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189280
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 透過率制御膜の膜厚の均一性が高いグレートーンマスクを容易に得ることができる製造方法等を提供する。【解決手段】 例えば、透明基板11上に、透過率制御膜12(CrO等)、透過率低減膜13(Cr等)、レジスト膜14を順次形成し、透光部を形成すべき部分(エリアC)上のレジストを除去してこの部分上の透過率低減膜13及び透過率制御膜12を除去して透光部を形成し、次いで、グレートーン部を形成すべき部分(エリアA)上のレジストを除去してこの部分上の透過率低減膜13を除去してグレートーン部を形成して、グレートーンマスクを製造する。
請求項（抜粋）：
遮光部と、透光部と、露光光の一部を透過するグレートーン部とを有するグレートーンマスクにおいて、前記遮光部を構成する膜が、透明基板側から主にグレートーン部における透過率を制御する透過率制御膜と遮光部における透過率を低減する透過率低減膜とにより少なくとも構成されており、前記透過率制御膜と前記透過率低減膜とが同一の金属を含む膜からなり、前記グレートーン部が、前記遮光部を構成する膜がその厚さ方向に一部除去されてなることを特徴とするグレートーンマスク。
IPC (2件)：
G03F 1/08
, G03F 7/20 501
G03F 1/08 A
, G03F 7/20 501
2H095BB03
, 2H095BB14
, 2H095BC05
, 2H095BC13
, 2H097AB09
, 2H097LA12
