電子線またはX線用化学増幅系ネガ型レジスト組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358022
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174995
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】電子線またはX線の使用に対して感度と解像性・レジスト形状の特性を満足する電子線またはX線用ネガ型化学増幅系レジスト組成物を提供する。【解決手段】(1)重量平均分子量が3,000を超え、1,000,000以下であるアルカリ可溶性樹脂、(2)酸により架橋する架橋剤及び(3)電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物を含有する化学増幅系ネガ型レジスト組成物において、アルカリ可溶性樹脂が特定の構造を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(1)重量平均分子量が3,000を超え、1,000,000以下であるアルカリ可溶性樹脂(2)酸により架橋する架橋剤、及び(3)電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物を含有する化学増幅系ネガ型レジスト組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が下記条件(a)および(b)を満たすことを特徴とする電子線またはX線用化学増幅系ネガ型レジスト組成物。(a)炭素数6以上20以下の芳香環及び該芳香環に直接あるいは連結基を介して結合したエチレン性不飽和基を有するモノマーから誘導される繰り返し単位を少なくとも一種有すること(b)該芳香環のπ電子と芳香環上の置換基の非共有電子対の電子数の間に次の関係が成り立つこと【数1】(ここで、Nπは、π電子総数を表し、Nloneは該置換基としての炭素数1以上12以下の直鎖状、分岐状、あるいは環状のアルコキシ基、アルケニルオキシ基、アリールオキシ基、アラルキルオキシ基、または水酸基の非共有電子対の総電子数を表す。2つ以上のアルコキシ基または水酸基は隣り合う二つが互いに結合して5員環以上の環構造を形成してもよい。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 601 , C08L101/12 , G03F 7/027 , H01L 21/027 , C08F 12/00

FI (5件)：

G03F 7/038 601 , C08L101/12 , G03F 7/027 , C08F 12/00 , H01L 21/30 502 R

Fターム (59件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CB42 , 2H025CB45 , 2H025CB51 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC17 , 4J002BC011 , 4J002BC121 , 4J002BE041 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BG071 , 4J002EB117 , 4J002EJ016 , 4J002EJ026 , 4J002EJ036 , 4J002EJ046 , 4J002EJ066 , 4J002EP016 , 4J002ET016 , 4J002EV076 , 4J002EV297 , 4J002FD146 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J100AB00P , 4J100AB02P , 4J100AB07P , 4J100AE09P , 4J100AL08P , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA05P , 4J100BC42P , 4J100BC43P , 4J100BC44P , 4J100BC48P , 4J100BC49P , 4J100BC58P , 4J100CA01 , 4J100CA03 , 4J100DA01 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (11件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-339137 出願人：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-042742 出願人：日本合成ゴム株式会社
ネガ型感光性組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-039331 出願人：株式会社東芝

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