特許
J-GLOBAL ID:200903076651969273
窒化物半導体発光素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-366393
公開番号(公開出願番号):特開2004-200362
出願日: 2002年12月18日
公開日(公表日): 2004年07月15日
要約:
【課題】特別な欠陥低減手法を用いることなく、高発光効率、高信頼性、高生産性、低コストの窒化物半導体発光素子を提供する。【解決手段】窒化物半導体からなるn型クラッド層と、前記n型クラッド層上に形成されInを含む窒化物半導体からなる発光層と、AlxGa1-xN(0≦x)からなる大格子定数層と、AlyGa1-yN(x<y≦1、0.30≦y-x≦0.50)からなり前記大格子定数層よりも小さい格子定数を有する小格子定数層と、を交互に2周期以上積層した構造からなる歪多層構造層と、前記歪多層構造層上に形成され、窒化物半導体からなり、p型ドーパントとしてのマグネシウムが添加されたp型層と、を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
窒化物半導体からなるn型層と、
前記n型層上に形成されInを含む窒化物半導体からなる発光層と、
AlxGa1-xN(0≦x)からなる大格子定数層と、AlyGa1-yN(x<y≦1、0.30≦y-x≦0.50)からなり前記大格子定数層よりも小さい格子定数を有する小格子定数層と、を交互に周期的に積層した構造からなる歪多層構造層と、
前記歪多層構造層上に形成され、窒化物半導体からなり、p型ドーパントとしてのマグネシウムが添加されたp型層と、
を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
IPC (3件):
H01S5/343
, H01L21/205
, H01L33/00
FI (3件):
H01S5/343 610
, H01L21/205
, H01L33/00 C
Fターム (41件):
5F041AA03
, 5F041AA43
, 5F041AA44
, 5F041CA05
, 5F041CA40
, 5F041CA57
, 5F041CA74
, 5F041CA82
, 5F041CA92
, 5F045AA04
, 5F045AB09
, 5F045AB14
, 5F045AB17
, 5F045AC08
, 5F045AC09
, 5F045AC12
, 5F045AC19
, 5F045AD14
, 5F045AD15
, 5F045AD16
, 5F045AE23
, 5F045AE25
, 5F045AF04
, 5F045AF05
, 5F045AF09
, 5F045AF16
, 5F045BB16
, 5F045CA09
, 5F045CB02
, 5F045DA53
, 5F045DA67
, 5F073AA44
, 5F073AA76
, 5F073CA07
, 5F073CB05
, 5F073CB07
, 5F073CB14
, 5F073CB22
, 5F073DA21
, 5F073EA24
, 5F073EA28
引用特許:
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