特許
J-GLOBAL ID：200903076911719560
耐食性部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167238
公開番号（公開出願番号）：特開2004-010981
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】射ち放し面粗さが小さく、気孔が少なく、高い絶縁性および高い密着力を有する溶射膜を備え、腐食性プラズマガス環境下でパーティクルが少なく、高絶縁性を要求される部材に適した耐食性部材を提供すること。【解決手段】腐食性プラズマガス環境下で用いられ、少なくとも腐食性プラズマガスに曝される部位が酸化物セラミックスの溶射膜で覆われている耐食性部材であって、カソードトーチ2と、互いに分離した2つのアノードトーチ3a,3bとを備えた溶射装置を用いてセラミックス原料をプラズマアーク発生部に投入することにより、原料を十分に溶融しつつ溶射し、溶射膜52を基板53上に形成することにより、溶射膜52の射ち放し表面粗さRaを5μm以下、0.1μm以上100μm以下の気孔径の累積細孔容積を0.0080cc/g以下、体積抵抗率を1×106Ω・cm以上、密着力を10MPa以上とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
腐食性プラズマガス環境下で用いられ、少なくとも腐食性プラズマガスに曝される部位が酸化物セラミックスの溶射膜で覆われている耐食性部材であって、前記溶射膜の射ち放し表面粗さRaが5μm以下であり、0.1μm以上100μm以下の気孔径の累積細孔容積が0.0080cc/g以下であり、体積抵抗率が1×106Ω・cm以上、密着力が10MPa以上であることを特徴とする耐食性部材。
IPC (3件)：
C23C4/10
, C04B41/87
, C23C4/12
C23C4/10
, C04B41/87 J
, C23C4/12
4K031AA01
, 4K031AA08
, 4K031AB02
, 4K031AB08
, 4K031AB09
, 4K031BA04
, 4K031CB42
, 4K031CB43
, 4K031DA03
, 4K031EA01
, 4K031EA10
, 4K031FA04
