特許
J-GLOBAL ID：200903077072777229
静電容量型圧力検出素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150203
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337986
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 低流量域での微小な差圧を検出するための感度を維持しつつ、高流量域での応答性を確保でき、しかも、同相の圧力振動が印加される場合においても、誤った交番差圧の検出を防止できる静電容量型圧力検出素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】 ダイアフラム1と、それを挟んでそのダイアフラムの周縁部両面に接合された2枚の絶縁部材4,5とを有する静電容量型圧力検出素子において、絶縁部材に形成された圧力導入口8,9のダイアフラム1に面する端部における面積A1、A2が、ダイアフラム1の感応部1Aの面積Bの1/5ないし1/50の範囲であって、(A1-A2)/Bが1/300以内とする。
請求項（抜粋）：
中央部分が圧力に応じて変位する感応部とされかつその感応部に電極部を有するダイアフラムと、このダイアフラムを挟んでそのダイアフラムの周縁部両面に接合された2枚の基板とを有し、この2枚の基板にはダイアフラムとの対向面に静電容量を生じさせるための電極が形成され、かつ、各基板を貫通して前記ダイアフラムと電極を含む基板とにより形成された空隙に連通する圧力導入口を有する静電容量型圧力検出素子において、前記各基板に形成された圧力導入口のダイアフラムに面する端部における面積A1、A2が、ダイアフラムの感応部の面積Bの1/5ないし1/50の範囲であって、(A1-A2)/Bが1/300以内であることを特徴とする静電容量型圧力検出素子。
IPC (3件)：
G01L 13/06
, G01F 1/20
, H01L 29/84
G01L 13/06 C
, G01F 1/20 E
, H01L 29/84 Z
2F030CA04
, 2F030CA05
, 2F030CC11
, 2F030CE40
, 2F030CH01
, 2F030CH05
, 2F055AA39
, 2F055BB06
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE25
, 2F055FF17
, 2F055GG01
, 2F055GG12
, 2F055GG25
, 2F055HH05
, 4M112AA01
, 4M112BA07
, 4M112CA03
, 4M112CA16
, 4M112DA02
, 4M112DA05
, 4M112DA08
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
