特許
J-GLOBAL ID：200903077261254091

石英ガラス部品及びその製造方法並びにそれを用いた装置

発明者：
向後 雅則

向後 雅則 について

, 
高橋 小弥太

高橋 小弥太 について


出願人/特許権者：
東ソー株式会社

東ソー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-101430
公開番号（公開出願番号）：特開2004-123508
出願日： 2003年04月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】本発明の目的は、半導体等の成膜、プラズマ処理において、パーティクル発生が少なく、長期間の連続使用、再生利用が可能で、再生利用後にも再生前と同様にパーティクル発生がない石英ガラス部品、及びその製造方法、並びにそれを用いた装置を得ることにある。【解決の手段】本発明は、表面に凹凸を有し、内部に泡を有する石英溶射膜を有する石英ガラス部品、又は当該凹凸の凹部にディンプル形状を有する石英ガラス部品を基材が溶融する条件での石英粉末の溶射並びにその後のフッ酸を含む液でのエッチングにより製造し、当該石英ガラス部品を成膜装置、プラズマエッチング装置、プラズマクリーニング装置に用いることによって構成される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材上に石英溶射膜が形成されている石英ガラス部品であって、当該石英溶射膜は凹凸を有し、表面粗さRaが10〜100μmで、石英溶射膜中に泡を有することを特徴とする石英ガラス部品。
IPC (5件)：
C03C17/02 ,  C03B20/00 ,  C03C15/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065
FI (5件)：
C03C17/02 B ,  C03B20/00 K ,  C03C15/00 B ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G
Fターム (23件)：
4G014AH23 ,  4G059AA20 ,  4G059AB01 ,  4G059AB02 ,  4G059AB11 ,  4G059AC01 ,  4G059AC18 ,  4G059BB04 ,  4G059BB14 ,  4G059CA01 ,  4G059CB04 ,  5F004AA14 ,  5F004BA20 ,  5F004BB29 ,  5F004BD04 ,  5F004DA23 ,  5F004EB01 ,  5F045AA06 ,  5F045AB03 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045BB15 ,  5F045EC05
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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