化学分析用複合放出電子顕微鏡装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016530
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215841
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】内殻電子の励起を可能にし、原子の種類や価数等の化学状態に関する情報によりマッピングすることにより、微細なサンプルの表面の計測を行うことができる化学分析用複合放出電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】化学分析用複合放出電子顕微鏡装置において、内殻電子の励起高速の電子線源と、X線源10を低速電子顕微鏡の装置に組み込み、オージェ電子放出顕微鏡、または光電子顕微鏡として用い、表面原子の電子状態、化学状態の分析を可能にする。

請求項（抜粋）：

内殻電子の励起用高速の電子線源と、X線源を低速電子顕微鏡の装置に組み込み、オージェ電子放出顕微鏡、X線は光放出電子顕微鏡として用い、表面原子の電子状態、化学状態の分析を可能にすることを特徴とする化学分析用複合放出電子顕微鏡装置。

IPC (3件)：

H01J 37/26 , G01N 23/225 , G01N 23/227

FI (3件)：

H01J 37/26 , G01N 23/225 , G01N 23/227

Fターム (26件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001BA08 , 2G001BA09 , 2G001BA18 , 2G001CA03 , 2G001DA02 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001HA12 , 2G001JA04 , 2G001JA06 , 2G001KA01 , 2G001KA08 , 2G001MA05 , 2G001SA02 , 5C033RR02 , 5C033RR04 , 5C033RR08 , 5C033RR10 , 5C033SS01 , 5C033SS08 , 5C033SS10

引用特許：

審査官引用 (9件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-012256 出願人：日本電子株式会社
電子線分析装置及び電子線分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-325059 出願人：株式会社日立製作所
直接写像型反射電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-095180 出願人：日本電子株式会社

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