特許
J-GLOBAL ID：200903077834178557
ネガ型感光性ポリマー樹脂組成物、これを用いたパターン形成方法、および電子部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-328588
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297400
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 安全かつ簡便な工程で、基板等との接着性に優れた微細なポリマー膜パターンを形成し得るネガ型感光性ポリマー樹脂組成物を提供する。【解決手段】 加熱により脱水環化して硬化する熱硬化性ポリマー樹脂前駆体と、光照射により熱硬化促進能(脱水環化反応促進能)を発生する感光性熱硬化促進剤とを含有するネガ型感光性ポリマー樹脂組成物である。
請求項（抜粋）：
加熱により脱水環化して硬化する熱硬化性ポリマー樹脂前駆体と、光照射により熱硬化促進能を発生する感光性熱硬化促進剤とを含有するネガ型感光性ポリマー樹脂組成物。
IPC (12件)：
G03F 7/038 504
, C08K 5/04 KAM
, C08K 5/16 KAX
, C08K 5/34 KBF
, C08K 5/36 KBR
, C08K 5/51 KCA
, C08L 79/04 LRB
, C08L101/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/028
, G03F 7/38 511
, C08G 73/10
G03F 7/038 504
, C08K 5/04 KAM
, C08K 5/16 KAX
, C08K 5/34 KBF
, C08K 5/36 KBR
, C08K 5/51 KCA
, C08L 79/04 LRB
, C08L101/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/028
, G03F 7/38 511
, C08G 73/10
