感光性樹脂組成物及び感光性カバーレイフィルム

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-049118
公開番号（公開出願番号）：特開2003-248319
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】回路の絶縁保護フィルムとして用いる感光性カバーレイフィルムは、硬化後の難燃性を実現するために難燃剤としてハロゲン化合物を必須成分としているが、燃焼時に有毒ガスや発煙性物質を発生するという問題があった。【解決手段】可溶性ポリイミド、分岐構造を有するシリコーン化合物、(メタ)アクリル系化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物を調製し、それを用いることにより、ハロゲン化合物を用いることなく、硬化後の難燃性を改良した感光性カバーレイフィルムを付与することができる。

請求項（抜粋）：

(A)可溶性ポリイミド、(B)分岐構造を有するシリコーン化合物、(C)(メタ)アクリル系化合物を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/075 511 , G03F 7/037 501 , H05K 3/28

FI (3件)：

G03F 7/075 511 , G03F 7/037 501 , H05K 3/28 F

Fターム (15件)：

2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC78 , 2H025CB25 , 2H025CC20 , 5E314AA27 , 5E314AA38 , 5E314AA40 , 5E314CC15 , 5E314GG08

引用特許：

審査官引用 (12件)

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-214852 出願人：富士通株式会社
感光性ポリイミドシロキサン、組成物および絶縁膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-046122 出願人：宇部興産株式会社
ポリイミドプライマーをベースとするネガ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-073067 出願人：オリン・マイクロエレクトロニツク・ケミカルズ・インコーポレイテツド

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