特許

J-GLOBAL ID：200903078234831520

透過電子顕微鏡

発明者： 石塚 和夫 ,  三留 正則 ,  木本 浩司 ,  板東 義雄
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-327684
公開番号（公開出願番号）：特開2007-134229
出願日： 2005年11月11日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：

【目的】電子波は、物体を透過したとき、電場や磁場中を通過したとき、ならびに、電磁レンズによって曲げられたときなどに、その位相を変化させる。この位相変化を計測することで、吸収コントラストの小さな位相物体や、電場・磁場の強度、さらには、電磁レンズの収差などを知ることができる。これら各種の情報を得るために、電子波の位相分布を高速に計測する装置を提供する。【解決手段】計測対象の計測面を高速かつ自動的に選択する機構及び、電子波強度分布を高速に読み書きのできる画像計測機構を備え、当該画像計測機構に記録された複数の画像から、自由空間を伝搬する波の位相変化と強度変化の関係を表した一般式である強度輸送方程式に基づいて、電子波の位相分布を高速に計測表示する演算機構を備えることで実現する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

計測対象となる物体(試料)からの光学的伝播距離の異なる計測面を選択する計測面選択機構と、 電子波強度を計測する画像計測機構と、 計測された電子波強度から強度輸送方程式に基づき、電子波の位相を求める位相演算機構を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。

IPC (1件)：

H01J 37/26

FI (1件)：

H01J37/26

Fターム (5件)：

5C033SS01 ,  5C033SS02 ,  5C033SS03 ,  5C033SS04 ,  5C033SS10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 位相差電子顕微鏡用薄膜位相板並びに位相差電子顕微鏡及び位相板帯電防止法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-085493   出願人：日本電子株式会社
• 電子線ホログラフィ実時間位相計測方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-133870   出願人：新技術事業団, 外村彰

審査官引用 (4件)

• 特許第6590209号
  
• 位相回収式の位相コントラスト画像
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-528158   出願人：エックス-レイ・テクノロジーズ・プロプライエタリー・リミテッド
• 透過形電子顕微鏡及び透過電子顕微鏡像観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-258476   出願人：株式会社日立製作所
• 透過電子顕微鏡の高精度な軸調整方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-020121   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構