特許
J-GLOBAL ID：200903078314373450
ウエハ移送装置、ウエハ移送方法及びコンピュータ可読記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠彦
, 大貫 進介
, 伊東 忠重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-151728
公開番号（公開出願番号）：特開2008-141158
出願日： 2007年06月07日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】 ウエハ移送装置において、複数枚のウエハを必要な数量だけ同時に移送させることによってウエハ移送時間を短縮し、作業効率を増大させる。【解決手段】 1枚以上のウエハを支持して移送できる複数のウエハ支持部材と、前記ウエハ支持部材と連結され、移送されるべき前記ウエハの枚数に対応する個数のウエハ支持部材を移動させ、該ウエハ支持部材が1枚以上のウエハを同時に移送できるようにする移動装置と、を備える構成とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
1枚以上のウエハを支持して移送できる複数のウエハ支持部材と、
前記複数のウエハ支持部材と連結され、移送されるウエハの枚数に該当する個数のウエハ支持部材を移動させて前記複数のウエハ支持部材が1枚以上のウエハを同時に移送できるようにする移動装置と、
を備えることを特徴とする、ウエハ移送装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/68 D
, H01L21/68 B
, B65G49/07 G
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA09
, 5F031FA11
, 5F031GA03
, 5F031GA08
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031GA50
, 5F031MA33
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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