洗浄方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-177153
公開番号（公開出願番号）：特開平10-071375
出願日： 1997年07月02日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】被洗浄物表面のパーティクル等の汚染物を効果的に除去することが可能な洗浄方法を提供するものである。【解決手段】脱気処理した純水に酸素を溶解させて洗浄液を調製し、この洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

脱気処理した純水に酸素を溶解させて洗浄液を調製し、この洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物を洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (4件)：

B08B 3/10 , C02F 1/46 , C11D 7/00 , H01L 21/304 341

FI (4件)：

B08B 3/10 Z , C02F 1/46 Z , C11D 7/00 , H01L 21/304 341 N

引用特許：

審査官引用 (5件)

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