光音響変換装置の振動板

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柴田昌雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-294469
公開番号（公開出願番号）：特開2006-109193
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】MEMS法にて作製するシリコン製の振動板において、変形することなく、光音響変換装置用の振動板として適した機能を有するものを提供する。【解決手段】受圧面を有する振動板(1A)の振動部(1a)と対向する位置に発光部(2)と受光部(3)とを配置し、前記振動部(1a)に前記発光部(2)から光を放射し、前記振動部(1a)からの反射光を前記受光部(3)で受光して前記振動部(1a)の位置の変化を検出するシリコンからなる光音響変換装置の振動板(1A)であって、MEMS半導体製造方法にて前記振動板(1A)にスリット(1s)を形成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

受圧面を有する振動板(1A)の振動部(1a)と対向する位置に発光部(2)と受光部(3)とを配置し、前記振動部(1a)に前記発光部(2)から光を放射し、前記振動部(1a)からの反射光を前記受光部(3)で受光して前記振動部(1a)の位置の変化を検出するシリコンからなる光音響変換装置の振動板(1A)であって、MEMS半導体製造方法にて前記振動板(1A)にスリット(1s)を形成したことを特徴とする光音響変換装置の振動板。

IPC (2件)：

H04R 23/00 , H04R 7/04

FI (2件)：

H04R23/00 , H04R7/04

Fターム (3件)：

5D016AA03 , 5D016BA01 , 5D021DD04

引用特許：

出願人引用 (1件)

光音響変換装置の振動板構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-351355 出願人：株式会社ケンウッド

審査官引用 (12件)

光音響変換装置の振動板構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-351355 出願人：株式会社ケンウッド
フローティングメンブレン
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-091860 出願人：日本電装株式会社
赤外線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-294746 出願人：松下電工株式会社

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