特許
J-GLOBAL ID：200903078907276451
プローブ要素の製作方法及び装置並びに窪み形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-009294
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201516
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【目的】 プローブ要素の突起電極製作用の錐形窪みの形成に用いる工具の突起を可能な限り変形しないようにすること【解決手段】 プローブ要素の製作方法は、錐形の先端を有するダイヤモンドを基板の一方の面に押圧して前記基板に錐形の窪みを形成することを含む。
請求項（抜粋）：
錐形の先端を有するダイヤモンドを基板の一方の面に押圧して前記基板に錐形の窪みを形成することを含む、プローブ要素の製作方法。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/073 F
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA10
, 2G003AG04
, 2G003AG07
, 2G003AG12
, 2G003AG20
, 2G011AA01
, 2G011AA16
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD04
