特許
J-GLOBAL ID:200903079088669593
電極構造体及び光デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
, 柴田 昌聰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-069586
公開番号(公開出願番号):特開2005-258081
出願日: 2004年03月11日
公開日(公表日): 2005年09月22日
要約:
【課題】 構造体のサイズ制限があっても、可動電極の可動範囲を大きくすることができる電極構造体及び光デバイスを提供する。【解決手段】 電極構造体2は基板3を有し、この基板3上には、固定電極4と可動電極5とが設けられている。固定電極4は、基板3の上面に固定された電極基部6と、基板3に対して電極基部6の上面6aに固定され、可動電極5側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部7とを有している。可動電極5は、固定電極4の電極基部6と対向するように基板3の上面に固定された電極基部8と、基板3に対して電極基部8の上面8aに固定され、固定電極4側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部9とを有している。補助電極部9を形成する各歯は、固定電極4の補助電極部7に対して位置が異なるように配列されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
固定電極と可動電極とを有する電極構造体であって、
前記固定電極は、第1電極基部と、前記第1電極基部における前記可動電極と対向する側の面とは異なる面に固定され、前記可動電極側に延在する部分をもった第1補助電極部とを有し、
前記可動電極は、前記第1電極基部と対向するように配置された第2電極基部と、前記第2電極基部における前記固定電極と対向する側の面とは異なる面に固定され、前記固定電極側に延在する部分をもった第2補助電極部とを有することを特徴とする電極構造体。
IPC (3件):
G02B26/08
, B81B3/00
, B81B5/00
FI (3件):
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81B5/00
Fターム (4件):
2H041AA14
, 2H041AB13
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
光デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-045961
出願人:日本航空電子工業株式会社
審査官引用 (8件)
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