特許
J-GLOBAL ID：200903002695048600
光デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-045961
公開番号（公開出願番号）：特開2003-241120
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】 少ない工数で精度良く作製することを可能とする。【解決手段】 可動板31を変位させることにより、その可動板31に搭載されたミラー38の変位によって光路の切り替えを行う構造とされた光スイッチ(光デバイス)において、可動板31をその板面と平行に、その互いに対向する側面から突出延長された対をなす支持ビーム32によって基体33に両持ち支持し、その板面及び上記側面と平行に変位させる構造とし、可動板31、支持ビーム32、基体33及び可動板を駆動変位させる駆動手段34,35が一枚の基板から形成されるものとする。
請求項（抜粋）：
可動板を変位させることにより、その可動板に搭載されたミラーの変位によって光路の切り替えを行う構造とされた光デバイスであって、上記可動板は、その板面と平行に、その互いに対向する側面から突出延長された少なくとも一対の支持ビームを介して基体に両持ち支持されて、その板面及び上記側面と平行に変位されるものとされ、上記可動板、支持ビーム、基体及び可動板を駆動変位させる駆動手段がエッチング加工によって一枚の基板から形成されていることを特徴とする光デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2H041AA15
, 2H041AB13
, 2H041AC06
, 2H041AC07
, 2H041AZ03
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
