特許
J-GLOBAL ID：200903079193811397

電子線測定及び観察装置並びに電子線測定及び観察方法

発明者：
高地 伸夫

高地 伸夫 について

, 
小池 紘民

小池 紘民 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (6件)： 宮川 貞二 ,  東野 博文 ,  宮川 清 ,  松村 博之 ,  内藤 忠雄 ,  柴田 茂夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279386
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043286
出願日： 2003年07月24日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】 試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の三次元画像計測が行なえる電子線測定装置を提供する。【解決手段】 試料傾斜部5により試料9を傾斜させる傾斜面に対する、基準傾斜角における補正係数を記憶しておく補正係数記憶部32と、電子線検出部4のステレオ画像に相当する出力に基づき、試料9の概略の形状または座標値を求める概略座標測定部28と、概略座標測定部28で求められた試料の形状または座標値に基づいて、補正係数記憶部32で記憶される補正係数を用いて、試料傾斜部5の傾斜角に応じて前記ステレオ画像を修正する画像修正部30と、画像修正部30で修正された修正ステレオ画像に基づき、概略座標測定部28に比較して精密な試料の形状または座標値を求める精密座標測定部34とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電子線源から放射される電子線を試料に照射する電子光学系と、前記試料を保持する試料ホルダと、前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させ、ステレオ画像を取得する状態を形成する試料傾斜部と、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線装置と接続される電子線測定装置であって; 前記試料傾斜部により前記試料を傾斜させる傾斜面に対する、基準傾斜角における補正係数を記憶しておく補正係数記憶部と; 前記電子線検出部のステレオ画像に相当する出力に基づき、前記試料の概略の形状または座標値を求める概略座標測定部と; 前記概略座標測定部で求められた試料の形状または座標値に基づいて、前記補正係数記憶部で記憶される補正係数を用いて、前記試料傾斜部の傾斜角に応じて前記ステレオ画像を修正する画像修正部と; 前記画像修正部で修正された修正ステレオ画像に基づき、前記概略座標測定部に比較して精密な試料の形状または座標値を求める精密座標測定部と; を備える電子線測定装置。
IPC (5件)：
G01B15/04 ,  G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28
FI (5件)：
G01B15/04 ,  G01B15/00 B ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B
Fターム (29件)：
2F067AA04 ,  2F067AA53 ,  2F067CC17 ,  2F067EE05 ,  2F067GG09 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067NN06 ,  2F067PP11 ,  2F067RR29 ,  2F067TT01 ,  2F067TT06 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA02 ,  2G001GA08 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA08 ,  2G001JA12 ,  2G001JA13 ,  2G001LA11 ,  2G001PA12 ,  5C033UU03 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06 ,  5C033UU08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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