特許
J-GLOBAL ID:200903079627363100
ポリエステルフィルム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三原 秀子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-276957
公開番号(公開出願番号):特開2004-115566
出願日: 2002年09月24日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【課題】高解像度DFRに使用し得る透明性、UV透過性を満足し、フォトレジスト層の上に保護フィルムを設ける工程を省略し、且つ産業廃棄物の軽減に寄与するドライフィルムフォトレジスト(DFR)、いわゆるカバーレスDFRを製造に適したポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】ポリエステルを主たる構成成分とするポリエステルフィルムにおいて、該ポリエステルフィルムの片方の表面Xともう一方の表面Yにおける水接触角が、特定範囲であり、且つ、波長365nmでの光線透過率が80%以上であることを特徴とするポリエステルフィルムまたはポリエステルを主たる構成成分とするポリエステルフィルムの片面に離型層を設けた積層ポリエステルフィルムにおいて、該積層ポリエステルフィルムの離型層を設けない表面Yと離型層の表面Rにおける水接触角が特定範囲であり、且つ、波長365nmでの光線透過率が80%以上であることを特徴とする積層ポリエステルフィルム。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
ポリエステルを主たる構成成分とするポリエステルフィルムにおいて、該ポリエステルフィルムの片方の表面Xともう一方の表面Yにおける水接触角が、下記式(1)〜(3)を満足し、且つ、波長365nmでの光線透過率が80%以上であることを特徴とするポリエステルフィルム。
IPC (4件):
C08J5/18
, B32B27/36
, G03F7/004
, G03F7/09
FI (4件):
C08J5/18
, B32B27/36
, G03F7/004 512
, G03F7/09 501
Fターム (29件):
2H025AB11
, 2H025DA19
, 2H025DA20
, 2H025DA33
, 4F071AA43
, 4F071AF04Y
, 4F071AF30Y
, 4F071AF53Y
, 4F071AH12
, 4F071BA01
, 4F071BB06
, 4F071BC01
, 4F071BC12
, 4F100AB22A
, 4F100AH08B
, 4F100AK03B
, 4F100AK17B
, 4F100AK41A
, 4F100AK52B
, 4F100AR00B
, 4F100BA02
, 4F100GB43
, 4F100JD09
, 4F100JL08A
, 4F100JL11B
, 4F100JL14B
, 4F100JN01
, 4F100JN17
, 4F100YY00A
引用特許:
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