特許
J-GLOBAL ID：200903079838202471

力学量測定装置

発明者：
太田 裕之

太田 裕之 について

, 
澄川 貴志

澄川 貴志 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-346481
公開番号（公開出願番号）：特開2005-114443
出願日： 2003年10月06日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】電磁誘導もしくはマイクロ波で回路動作電力を供給した場合でもノイズの影響を受けにくく、精度の高い測定を可能とした力学量を測定できる装置を提供する。【解決手段】 少なくともひずみセンサと増幅回路、アナログ/デジタルコンバータ、整流・検波・変復調回路部、通信制御部を同一のシリコン基板上に形成する。或いはさらにシリコン基板上に特定の結晶方位を長手とするダミー抵抗を形成し、ひずみセンサとともにホイートストンブリッジを形成する。 これにより、センサに流れる電流量を少なくした場合でもノイズに埋もれることがなく、センサの低消費電力化が測れ、電磁誘導もしくはマイクロ波で電源を供給した場合でも精度の高い力学量の測定が可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
単結晶半導体基板の一主面に、ひずみセンサと、該ひずみセンサからの信号を増幅してデジタル信号に変換する増幅変換回路と、変換された該デジタル信号を前記半導体基板の外部に電送するための伝送回路と、前記半導体基板の外部から受けた電磁波エネルギを電源として供給する電源回路と、を設けたことを特徴とする力学量測定装置。
IPC (3件)：
G01B7/16 ,  G01L1/18 ,  G01S13/74
FI (3件)：
G01B7/18 B ,  G01L1/18 A ,  G01S13/74
Fターム (20件)：
2F063AA25 ,  2F063BA30 ,  2F063CA01 ,  2F063CA08 ,  2F063CA15 ,  2F063CB01 ,  2F063CC10 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063EC06 ,  2F063LA27 ,  2F063NA01 ,  2F063NA08 ,  5J070AA04 ,  5J070AK13 ,  5J070BC06 ,  5J070BC22 ,  5J070BC23 ,  5J070BC25 ,  5J070BC26
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (24件)
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