特許
J-GLOBAL ID：200903079840886086

ウエハの交換機能を有するウエハストッカ

発明者：
大見 忠弘

大見 忠弘 について

, 
篠原 壽邦

篠原 壽邦 について

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新田 雄久

新田 雄久 について


出願人/特許権者：
大見 忠弘

大見 忠弘 について

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株式会社ウルトラクリーンテクノロジー開発研究所

株式会社ウルトラクリーンテクノロジー開発研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281907
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138283
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】製作すべきウエハ枚数がどのような枚数であってもライン全体の稼働率を高めることができ、少量多品種生産においても大量少品種生産と同様の生産性を得ることのできるウエハストッカを提供すること。【解決手段】ウエハ140に対する汚染が制御された空間122に収納された複数のウエハ容器124の中に収納されているウエハ140を、ウエハ容器124相互間で交換するためのウエハ交換手段130を有していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウエハに対する汚染が制御された雰囲気において搬送基体間のウエハ交換機能を持つことを特徴とするウエハストッカ。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 1/00 521 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07
FI (6件)：
H01L 21/68 T ,  H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 521 D ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 C ,  B65G 49/07 L
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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