特許
J-GLOBAL ID：200903080082883451
プロービングカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241457
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 米国特許第5928226号明細書に記載のプロービングカードの場合には、プローブを構成する梁がポストから張り出しているため、プローブを配置する際に他のプローブとの干渉を避けるためにプローブの配置に特別の工夫を要し、高集積化にも自ずと限界がある。【解決手段】 本発明のプロービングカード1は、ウエハに形成された複数のICチップにそれぞれプローブ3を接触させて各ICチップの電気的特性検査を行うもので、プローブ2は、基板2上に設けられた角柱状突起31と、この角柱状突起31の上端面に固定されたスペーサ32と、このスペーサ32に一端が固定されたバネ性を有する渦巻状プレート33と、この渦巻状プレート33の他端に固定された接触端子34とを有し、渦巻状プレート33の接触端子34を有する部分が自由端として形成されている。
請求項（抜粋）：
被検査体に形成された複数の素子にそれぞれプローブを接触させて上記各素子の電気的特性検査を行うプロービングカードにおいて、上記プローブは、基板上に設けられた柱状突起と、この柱状突起の上端面に固定されたスペーサと、このスペーサに一端が固定されたバネ性を有する渦巻状プレートと、この渦巻状プレートの他端に固定された接触端子とを有し、上記渦巻状プレートの他端が自由端として形成されてなることを特徴とするプロービングカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 F
, H01L 21/66 B
2G011AA10
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AC14
, 2G011AC32
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD04
, 4M106DD10
