パターン検査方法およびパターン検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-298516
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116272
出願日： 2006年11月02日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】高速で、高分解能によって、パターンを有する基板における該パターンの欠陥検査をすることができるパターン検査方法等を提供する。【解決手段】本発明のパターン検査方法は、パターン208を有する基板207における該パターンの欠陥検査をするパターン検査方法であって、前記基板に対して前記基板のパターンに対して反転したパターン211を有する参照板212を配置する第1の工程と、前記基板のパターン面と前記参照板との間の距離を計測する第2の工程と、前記第2の工程における前記距離の計測結果に基づいて、前記基板のパターンの欠陥を検出する第3の工程と、を有する構成とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

パターンを有する基板における該パターンの欠陥検査をするパターン検査方法であって、前記基板に対して参照板を配置する第1の工程と、前記基板のパターン面と前記参照板との間の距離を計測する第2の工程と、前記第2の工程における前記距離の計測結果に基づいて、前記基板のパターンの欠陥を検出する第3の工程と、を有することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , H01L 21/027

FI (4件)：

G01B11/24 A , G01B11/24 D , H01L21/30 502D , H01L21/30 502V

Fターム (27件)：

2F065AA21 , 2F065AA53 , 2F065BB02 , 2F065BB05 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065DD07 , 2F065FF52 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065JJ18 , 2F065LL02 , 2F065LL28 , 2F065LL46 , 2F065LL67 , 2F065QQ25 , 2F065TT02 , 5F046AA18 , 5F046AA28 , 5F046DB08 , 5F046EA12 , 5F046EB01 , 5F046EB02 , 5F046ED01

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許出願公開第2003/0205658号明細書

審査官引用 (6件)

特開昭62-287111
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