露光装置のフォーカス制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶原康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-041500
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223525
出願日： 1997年02月10日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】プレートにそりがあってもアライメント時のフォーカス精度を改善し、アライメント精度の向上を図る。【解決手段】アライメント時は、中央の2つのフォーカスセンサ32,34によるフォーカスポイントFP2及びFP3の検出結果は利用せず、アライメントポイントAP1,AP2に近い両端のフォーカスセンサ30,36によるフォーカスポイントFP1及びFP4の検出結果のみを利用して近似フォーカス面38Aが求められ、その結果を使用してオートフォーカス動作が行なわれる。この結果、アライメント時は、近似フォーカス面38Aに合せるように、プレート38が駆動される。

請求項（抜粋）：

マスク及び基板を投影光学系に対して同期走査して、前記マスク上に形成されたパターンの像を前記投影光学系を介して前記基板上に投影する走査型露光装置におけるフォーカス制御方法であって、前記投影光学系による前記マスクのパターン像の結像面とほぼ同一の所定面内に複数の計測点を有し、前記複数の計測点の各々で前記投影光学系の光軸方向における前記基板の位置情報を検出するフォーカスセンサを用意し;前記所定面内の前記複数の計測点とは異なる位置に検出点を有し、前記基板に形成されたアライメントマークを検出するアライメントセンサを用意し;走査露光時は、前記複数の計測点の各々における検出結果を利用して、前記マスクと前記基板との間隔及び前記マスクと前記基板との相対的な傾斜の少なくとも一方を調整し;アライメント時は、前記フォーカスセンサの複数の計測点のうち前記アライメントセンサの検出点の近傍にある少なくとも一つの計測点における検出結果だけを利用して、前記マスクと前記基板との間隔及び前記マスクと前記基板との相対的な傾斜の少なくとも一方を調整する;ことを特徴とするフォーカス制御方法。

FI (3件)：

H01L 21/30 518 , H01L 21/30 516 C , H01L 21/30 525 F

引用特許：

審査官引用 (5件)

走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-160063 出願人：株式会社ニコン
走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-114782 出願人：株式会社ニコン
走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-054210 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る