特許
J-GLOBAL ID：200903080493479503

複合粒子の製造方法及びこの方法により製造される複合粒子並びに複合粒子を含有する化学機械研磨用水系分散体

発明者：
西元 和男

西元 和男 について

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服部 雅幸

服部 雅幸 について

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川橋 信夫

川橋 信夫 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331505
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152133
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：
【要約】【課題】 研磨剤として有用な複合粒子の製造方法、及びこの方法により製造される複合粒子、並びに複合粒子を含有し、十分な研磨速度が得られ、且つスクラッチ及び断線等が十分に抑えられる化学機械研磨用水系分散体を提供する。【解決手段】 カルボキシル基、その陰イオン、スルホン酸基及びその陰イオン等を有する重合体粒子に、アルミナ及びチタニア等の無機粒子が付着した予備粒子、或いはアミノ基及びその陽イオン等を有する重合体粒子に、シリカ及びジルコニア等の無機粒子が付着した予備粒子を形成し、その後、この予備粒子の存在下、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等の有機ケイ素化合物、若しくはテトラメトキシチタン、トリエトキシアルミニウム等の有機金属化合物を重縮合させ、重縮合体を予備粒子に結合させて、複合粒子を得る。また、この複合粒子を水系媒体に分散させ、化学機械研磨用水系分散体を得る。
請求項（抜粋）：
重合体粒子の表面の少なくとも一部に、1種以上の無機粒子を付着させて予備粒子を形成し、その後、該予備粒子の存在下、有機ケイ素化合物及び有機金属化合物のうちの少なくとも一方を重縮合させることを特徴とする複合粒子の製造方法。
IPC (4件)：
C09K 3/14 550 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
C09K 3/14 550 C ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 622 B ,  H01L 21/304 622 D
Fターム (7件)：
3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (7件)
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