特許
J-GLOBAL ID：200903080511661713
高脆性材料の切削又は研削加工
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-347209
公開番号（公開出願番号）：特開2006-150844
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】 加工中の泡立ちを抑制すると共に、高脆性材料の加工時に発生する切り屑の被加工材料への付着を抑制しすることができる高脆性材料の切削又は研削加工を提供する。【解決手段】 本発明の高脆性材料の切削又は研削加工は、重量平均分子量500〜50000のポリアクリル酸又はα-オレフィンとマレイン酸との共重合体である高分子量ポリカルボン酸のアンモニウム塩、アルカリ金属塩、及びアミン塩の1種又は2種以上を1〜10000ppm含有し、pHが6〜9である高脆性材料加工用剤を用いて高脆性材料の切削又は研削加工を行うことを特徴とする。本発明の高脆性材料の切削又は研削加工は、特にガラス、セラミックス又はシリコンを含む高脆性材料の切削又は研削加工、特に切断加工、精密研磨加工、又はダイシング加工に好適に使用できる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
高脆性材料加工用剤中、重量平均分子量500〜50000の高分子量ポリカルボン酸のアルカリ塩を1〜10000ppm含有する高脆性材料加工用剤を用いて、高脆性材料の切削又は研削加工を行うことを特徴とする高脆性材料の切削又は研削加工方法。
IPC (4件)：
B28D 5/00
, B28D 7/02
, C08J 5/14
, H01L 21/301
B28D5/00 Z
, B28D7/02
, C08J5/14
, H01L21/78 F
3C069AA01
, 3C069BA04
, 3C069DA07
, 4F071AA04
, 4F071AA32
, 4F071AA36
, 4F071AA81
, 4F071AB26
, 4F071AB28
, 4F071AB29
, 4F071DA17
, 4F071DA18
, 4G015FA00
, 4G015FB00
, 4G015FC00
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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