特許
J-GLOBAL ID：200903080684042113
研磨液供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-103809
公開番号（公開出願番号）：特開2005-294351
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】混合比率および供給量の精度の安定化を図り、劣化のない品質の安定した研磨液を研磨装置へ供給する。【解決手段】成分の異なる複数の原液2、4、6を各々貯留する複数の原液タンク1、3、5と、複数の原液を合流させる集合部33と、一端を前記複数の原液タンク内の各々の原液中に開口し、他端を集合部33に開口した一定の長さを有する管状体27、29、31と、管状体、集合部を介して複数の原液を吸引する吸引手段37と、集合部と複数の原液タンク内の各々の原液中に連通する管状体の本数を異なるようにして、複数の原液の混合比率を設定した研磨液を貯留する貯留タンク40を備え、研磨液を貯留タンクに連通した吐出ライン45を介して吐出口49,54から研磨装置50,55に供給する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
成分の異なる複数の原液を各々貯留する複数の原液タンクと、前記複数の原液を合流させる集合部と、一端を前記複数の原液タンク内の各々の原液中に開口し、他端を前記集合部に開口した一定の長さを有する管状体と、前記管状体、集合部を介して前記複数の原液を吸引する吸引手段と、前記集合部と複数の原液タンク内の各々の原液中に連通する管状体の本数を異なるようにして、前記複数の原液の混合比率を設定した研磨液を貯留する貯留タンクを備え、前記研磨液を貯留タンクに連通した吐出ラインを介して吐出口から研磨装置に供給することを特徴とする研磨液供給装置。
IPC (3件)：
H01L21/304
, B24B37/00
, B24B57/02
H01L21/304 622E
, B24B37/00 K
, B24B57/02
3C047FF08
, 3C047GG20
, 3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CB03
, 3C058DA12
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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