測定用プローブ及び光学式測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：板垣孝夫 , 森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426025
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181233
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】光学式測定装置などに用いられる測定用プローブにおいて、温度上昇を低くして熱安定性を良くし、測定精度を向上させる。【解決手段】被測定面6aの位置情報を得る測定用プローブである。被測定面6aに接触する接触子25を先端に備え、測定光L1を反射する反射面27が基端に形成された可動部材21と、可動部材21に取り付けられた磁性体23と、固定状態で設置された固定部材20と、この固定部材20に設けられて可動部材21を軸線28の方向に移動可能に支持する軸受22と、固定部材20に設けられて磁性体23に作用し可動部材21を軸線28の方向に移動させる力を発生させる磁力発生部24とを有する。可動部材21は非磁性材料で構成され、軸受22と固定部材20とは磁性材料で構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定面の位置情報を得る測定用プローブであって、前記被測定面に接触する接触子を先端に備え、測定光を反射する反射面が基端に形成された可動部材と、前記可動部材に取り付けられた磁性体と、固定状態で設置された固定部材と、この固定部材に設けられて前記可動部材を軸線方向に移動可能に支持する軸受と、前記固定部材に設けられて前記磁性体に作用し前記可動部材を軸線方向に移動させる力を発生させる磁力発生部とを有し、前記可動部材は非磁性材料で構成され、前記軸受と固定部材とは磁性材料で構成された測定用プローブ。

IPC (1件)：

G01B21/00

FI (1件)：

G01B21/00 P

Fターム (14件)：

2F069AA02 , 2F069AA06 , 2F069BB15 , 2F069CC06 , 2F069DD30 , 2F069EE02 , 2F069EE26 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069HH01 , 2F069HH09 , 2F069JJ08 , 2F069MM32 , 2F069RR03

引用特許：

出願人引用 (2件)

触針反射器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-092610 出願人：松下電器産業株式会社
三次元測定用プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-053382 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (4件)

特開平4-098114
接触式プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-095089 出願人：株式会社リコー
ワーク形状自動検出装置、及び、ワーク形状自動検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-319103 出願人：北川精機株式会社

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