接触式プローブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095089
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294434
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】本発明は、プローブに加わる力や接触力をアクティブに可変でき、非接触状態に発生するプローブ重量と重力補償用ばねによる機械共振周波数の振動を除去でき、プローブの重量を低減できると共にプローブの初期位置を精度良く検出できる接触式プローブを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の接触式プローブは、接触式プローブの接触力を発生させる、もしくはプローブ重量を補償して所定の接触力や所定の力を発生させるアクチュエータを具備する。

請求項（抜粋）：

一軸方向に摺動する接触式プローブを所定の力で被測定物の表面に接触させ、被測定物の表面形状上を走査し、走査したときの前記接触式プローブの摺動方向の変位を変位計により検出することによって被測定物の表面形状を測定する接触式形状測定装置の接触式プローブにおいて、前記接触式プローブの接触力を発生させる、もしくはプローブ重量を補償して所定の接触力や所定の力を発生させるアクチュエータを具備することを特徴とする接触式プローブ。

IPC (3件)：

G01B 21/00 , G01B 5/00 , G01B 21/20 101

FI (3件)：

G01B 21/00 P , G01B 5/00 B , G01B 21/20 101

Fターム (22件)：

2F062AA02 , 2F062CC02 , 2F062CC04 , 2F062CC07 , 2F062CC22 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062FF02 , 2F062GG73 , 2F062HH13 , 2F062HH32 , 2F069AA66 , 2F069EE04 , 2F069GG02 , 2F069GG58 , 2F069HH02 , 2F069HH14 , 2F069HH15 , 2F069HH30 , 2F069JJ15 , 2F069LL02 , 2F069MM24

引用特許：

審査官引用 (9件)

表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-070238 出願人：株式会社ニコン
形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-027160 出願人：株式会社ニコン
表面形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-296123 出願人：キヤノン株式会社

全件表示

前のページに戻る