表面性状倣い測定方法およびプログラム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-000620
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202219
出願日： 2002年01月07日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】被測定物の表面性状測定において倣いプローブによる高速倣い測定方法を提供すること。【解決手段】被測定物を測定する際の、前記被測定物の表面輪郭に対する前記倣いプローブの測定基準位置への測定オフセットを算出するステップS40と、前記被測定物の表面輪郭を示す表面輪郭データを入力するステップS50と、前記表面輪郭データに対して、前記被測定物の表面輪郭の略法線方向の外側へ前記測定オフセットだけ離隔した倣い測定軌道を算出するステップS70と、前記倣い測定軌道に沿って前記倣いプローブを相対移動させて前記被測定物を軌道倣い測定するステップS80とを備える。

請求項（抜粋）：

倣いプローブによって被測定物の表面性状を測定する表面性状倣い測定方法において、前記被測定物を測定する際の、前記被測定物の表面輪郭に対する前記倣いプローブの測定基準位置への測定オフセットを算出するステップと、前記被測定物の表面輪郭を示す表面輪郭データを入力するステップと、前記表面輪郭データに対して、前記被測定物の表面輪郭の略法線方向の外側へ前記測定オフセットだけ離隔した倣い測定軌道を算出するステップと、前記倣い測定軌道に沿って前記倣いプローブを相対移動させて前記被測定物を軌道倣い測定するステップと、を備えたことを特徴とする表面性状倣い測定方法。

IPC (2件)：

G01B 21/00 , G01B 21/20 101

FI (2件)：

G01B 21/00 E , G01B 21/20 101

Fターム (19件)：

2F069AA04 , 2F069AA54 , 2F069AA56 , 2F069AA57 , 2F069AA66 , 2F069EE07 , 2F069EE23 , 2F069FF01 , 2F069GG01 , 2F069GG12 , 2F069GG14 , 2F069GG52 , 2F069GG62 , 2F069GG72 , 2F069HH01 , 2F069HH30 , 2F069JJ05 , 2F069JJ25 , 2F069LL02

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-226008
金型加工精度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-023028 出願人：トヨタ自動車株式会社, 日本ユニシス株式会社
表面形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-221243 出願人：株式会社ミツトヨ

全件表示

前のページに戻る