特許
J-GLOBAL ID：200903080808082780

研磨シート

発明者：
村田 茂一

村田 茂一 について

, 
片山 浩二

片山 浩二 について


出願人/特許権者：
東レコーテックス株式会社

東レコーテックス株式会社 について


代理人 (2件)： 蔦田 璋子 ,  蔦田 正人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-276343
公開番号（公開出願番号）：特開2005-034971
出願日： 2003年07月17日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 被研磨物の平坦性が高く、精密な表面形状が得られる研磨シートを提供する。【解決手段】 連続気孔を有する多孔層が、基材の少なくとも一部に付設、埋設、又は積層されてなる研磨シートであって、多孔層がゲル化点が6以上の極性溶媒可溶性高分子材料からなり、気孔の平均孔径が30μm以下であるものとする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
連続気孔を有する多孔層が、基材の少なくとも一部に付設、埋設、又は積層されてなる研磨シートであって、 前記多孔層がゲル化点が6以上の極性溶媒可溶性高分子材料からなり、気孔の平均孔径が30μm以下であることを特徴とする研磨シート。
IPC (2件)：
B24B37/00 ,  H01L21/304
FI (2件)：
B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F
Fターム (17件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F074AA78 ,  4F074AB00 ,  4F074AC32 ,  4F074AD13 ,  4F074CB03 ,  4F074CB17 ,  4F074CC10X ,  4F074DA02 ,  4F074DA03 ,  4F074DA08 ,  4F074DA09 ,  4F074DA56
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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