特許
J-GLOBAL ID：200903080830007694

電子放出素子およびその製造方法

発明者：
平木 昭夫

平木 昭夫 について


出願人/特許権者：
平木 昭夫

平木 昭夫 について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-160557
公開番号（公開出願番号）：特開2004-362959
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】FED(Field Emission Display)などに好適な均一でかつ高い電子放出サイト密度をもつ電子放出素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】超微粒子のダイヤモンドコロイド溶液に、カーボンナノチューブを混合分散させた処理液で、ガラス基板1を処理することにより、ガラス基板1上に、数百nmのダイヤモンドの超微粒子2に数μmの長さのカーボンナノチューブ4を設計的に配置形成し、有磁場マイクロ波CVD法を用いて低温で非晶質炭素膜(DLC膜)5を形成し、カーボンナノチューブ4を電子放出サイトとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
超微粒子に微小線状物が混在されて配置された基板上またはワイヤ上に、電子伝導性膜が形成されてなる電子放出素子。
IPC (4件)：
H01J1/304 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01J9/02
FI (4件)：
H01J1/30 F ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01J9/02 B
Fターム (24件)：
5C127AA01 ,  5C127AA20 ,  5C127BA06 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB06 ,  5C127BB07 ,  5C127BB08 ,  5C127CC03 ,  5C127DD13 ,  5C127DD68 ,  5C127EE02 ,  5C127EE04 ,  5C127EE20 ,  5C135AA06 ,  5C135AA13 ,  5C135AA15 ,  5C135AB06 ,  5C135AB07 ,  5C135AB08 ,  5C135AC03 ,  5C135HH02 ,  5C135HH04 ,  5C135HH20
引用特許：
審査官引用 (8件)
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