特許
J-GLOBAL ID：200903081216586935

ノズル先端位置計測装置とそれを用いたスポッティング装置

発明者：
村椿 良司

村椿 良司 について

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中川 泰伸

中川 泰伸 について

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中島 晴記

中島 晴記 について


出願人/特許権者：
株式会社スギノマシン

株式会社スギノマシン について


代理人 (2件)： 佐藤 正年 ,  佐藤 年哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-280873
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049197
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 ノズル先端の破損や異物混入の発生のない、マイクロメートルオーダの正確な位置情報を精度よく計測することができるノズル先端位置計測装置を得る。【解決手段】 基台のXY平面に対して互いに直交するXYZ3軸方向に相対移動可能な移動手段に備えられたノズルの先端位置を計測する装置であって、前記ノズル先端が前記基台上の予め定められた基準エリア内の画像を撮影する基準エリア撮像手段を備え、この基準エリア内に予め定められた基準位置に前記ノズル先端を移動させた際の撮影画像により、前記ノズル先端の基準位置からの位置ズレを計測するもの。特に、移動手段が基台上を撮影する撮像手段からの撮影画像による位置情報により移動を制御されており、前記基準エリア撮像手段が基準エリアの映像を前記撮像手段に導く光学経路を含んでいるもの。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基台のXY平面に対して互いに直交するXYZ3軸方向に相対移動可能な移動手段に備えられたノズルの先端位置を計測する計測装置であって、 前記ノズル先端が前記基台上の予め定められた基準エリア内の画像を撮影する基準エリア撮像手段を備え、 この基準エリア内に予め定められた基準位置に前記ノズル先端を移動させた際の撮影画像により、前記ノズル先端の基準位置からの位置ズレを計測することを特徴とするノズル先端位置計測装置。
IPC (2件)：
G01N35/10 ,  G01B11/00
FI (2件)：
G01N35/06 C ,  G01B11/00 H
Fターム (14件)：
2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065DD06 ,  2F065DD16 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ19 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ31 ,  2G058CC02 ,  2G058ED02 ,  2G058ED15 ,  2G058ED38 ,  2G058GB10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (15件)
  • スポッティング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-144296   出願人：株式会社スギノマシン
  • 接着剤塗布装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-061055   出願人：松下電器産業株式会社
  • 画像認識用照明装置及び方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-007576   出願人：松下電器産業株式会社
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