液晶ディスプレイ用電極配線及びその形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200745
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048650
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】低比抵抗でしかも、耐久性に優れ、かつ、形成が容易な液晶ディスプレイ用電極配線及びその形成方法を提供する。【解決手段】酸化物層と金属層とが2n+1(nは1以上の整数)で積層され、かつ、各酸化物層には酸化亜鉛を主成分とする膜を少なくとも1層含み、各金属層には銀を主成分とする膜を少なくとも1層含む透明導電膜を、ソース電極7、かつドレイン電極8、かつ画素電極8として用いる薄膜トランジスタ型液晶ディスプレイ用電極配線及びその形成方法。

請求項（抜粋）：

酸化物層と金属層とが2n+1(nは1以上の整数)で積層され、かつ、各酸化物層には酸化亜鉛を主成分とする膜を少なくとも1層含み、各金属層には銀を主成分とする膜を少なくとも1層含む透明導電膜を薄膜トランジスタ型液晶ディスプレイのソース電極、かつドレイン電極、かつ画素電極として用いることを特徴とする液晶ディスプレイ用電極配線。

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平4-340522
特開平4-337208
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-152914 出願人：ダイセル化学工業株式会社

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