特許
J-GLOBAL ID：200903081293537793
反射面を有するワークの検査方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063406
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257441
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】反射鏡上の欠陥を検査する。【解決手段】治具12の白色の載置面(拡散反射面)12Aと反射鏡15の反射面16に斜め上方から拡散光を照射し、主走査方向に光電変換画素Pが連結されたリニアセンサ22を反射面16に対向して配置し、リニアセンサ22の主走査区間MSで電気的に走査する。得られた電気信号S101のレベルを予め定めた閾値TLAと比較し、電気信号S101のレベルが変化するエッジと閾値TLAとの交点が、1回の主走査で2回(エッジE11、E12:図9C)のときに反射鏡15が欠陥を有していないと判定することができる。4回(エッジE11、E12′、E13′、E14:図9D)のときには、欠陥が1箇所存在することになる。
請求項（抜粋）：
反射面を有するワークの検査方法において、第1の暗室内で実施される前記反射面に対する第1の欠陥検査工程と第2の暗室内で実施される前記反射面に対する第2の欠陥検査工程とを有し、前記第1の欠陥検査工程では、拡散反射面を有する治具上に反射面を有するワークを配置し、前記反射面および前記拡散反射面に斜め上方から平行光を照射し、前記反射面および前記拡散反射面に対向して配置され、主走査方向に光電変換画素が連結されたリニアセンサにより、前記反射面および前記拡散反射面上を主走査し、前記拡散反射面の一方の側からの拡散反射光、前記反射面からの散乱光、前記拡散反射面の他方の側からの拡散反射光の順に受光して電気信号に変換し、この電気信号のレベルと第1の閾値とを比較し、前記電気信号のレベルが変化するエッジと前記第1の閾値との交点の数により前記反射面を有するワークの散乱光発生部分を欠陥として検出するものであり、前記第2の欠陥検査工程では、前記拡散反射面を有する治具上に反射面を有するワークを配置し、前記反射面および前記拡散反射面に斜め上方から拡散光を照射し、前記反射面および前記拡散反射面から反射される前記拡散光の反射光を受光する位置に配置され、主走査方向に光電変換画素が連結されたリニアセンサにより、前記反射面および前記拡散反射面上を主走査し、前記拡散反射面の一方の側からの拡散反射光、前記反射面からの反射光、前記拡散反射面の他方の側からの拡散反射光の順に受光して電気信号に変換し、この電気信号のレベルと第2の閾値とを比較し、前記電気信号のレベルが変化するエッジと前記第2の閾値との交点の数により前記反射面を有するワークの反射光低下部分を欠陥として検出するものであることを特徴とする反射面を有するワークの検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/30
, G01M 11/00
, G01N 21/88
, G02B 5/08
G01B 11/30 C
, G01M 11/00 M
, G01N 21/88 D
, G02B 5/08 Z
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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