特許
J-GLOBAL ID：200903081999537958
紫外用光学部材の透過率測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095264
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292352
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 洗浄後の再汚染すなわち透過率低下の影響を含まない正確な透過率を求めることができるとともに、複数の測定対象の透過率測定を効率よく行うことが可能な紫外用光学部材の透過率測定方法を提供する。【解決手段】 評価サンプルMを洗浄(乾燥工程を含む)し(S1)、所定時間内に透過率測定を行って透過率Tを求めた後(S2)、得られた透過率Tを評価時間tcにおける透過率Tcに補正する(S3)。そして更に、評価時間における透過率Tcを真の透過率Toに校正する(S4)。なお、上記手順を実施するには、評価サンプルMの材質及び厚さに対応する透過率低下速度a、限界経過時間tmに加えて分光光度計の校正値KL を予め求めておく必要がある。
請求項（抜粋）：
紫外用光学部材を測定対象としてその透過率を測定する方法において、前記測定対象の洗浄を行う第1工程と、前記洗浄の終了後、前記測定対象の透過率の低下速度が一定値を保つ所定時間内に前記測定対象の透過率測定を行う第2工程と、前記透過率測定を行ったときの前記洗浄終了からの経過時間及び前記所定時間内における前記低下速度の値に基づいて、前記透過率測定により得られた前記経過時間における透過率を、前記所定時間内において任意に選択された評価時間における透過率に換算する補正を行う第3工程とを有することを特徴とする紫外用光学部材の透過率測定方法。
IPC (3件)：
G01N 21/59
, G01M 11/00
, G01N 21/33
G01N 21/59 Z
, G01M 11/00 T
, G01N 21/33
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059CC12
, 2G059EE01
, 2G059EE11
, 2G059FF09
, 2G059GG01
, 2G059HH03
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059MM01
, 2G086EE12
