特許
J-GLOBAL ID：200903082034560520

基板搬送装置及びそのアーム

発明者：
平井 達人

平井 達人 について

, 
柿沼 秀明

柿沼 秀明 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 晃司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-341602
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142556
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】 単一のアームのみが設けられた既存の搬送装置にも簡単に適用でき、基板保管装置に設けられるピン又は軸状の基板支持手段との干渉を避けつつ基板の周辺部を十分に支持することが可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板保管装置1は、基板2を出し入れするための開口4と、その開口4からみて左右に配置されて基板2をそれぞれ支持可能な基板支持ピン5とを有している。その基板保管装置1に対して基板2を出し入れするための基板搬送装置10は、基板保管装置1に対して相対的に進退可能かつ昇降可能な基板支持用のアーム13を有している。アーム13には、アームの進退方向に延び、基板支持ピン5同士の隙間に挿入可能な主アーム部15と、進退方向に間隔を開けた状態で主アーム部15上に配置されてその主アーム部の両側方に突出する複数の副アーム部16とが設けられる。
請求項（抜粋）：
基板を出し入れするための開口と、その開口からみて左右に配置されて前記基板をそれぞれ支持可能な基板支持手段とを有し、前記基板支持手段が上下方向に複数段に亘って設けられた基板保管装置に対して前記基板を出し入れするための基板搬送装置において、前記基板保管装置に対して相対的に進退可能かつ昇降可能な基板支持用のアームを有し、前記アームには、当該アームの進退方向に延び、各段の前記基板支持手段同士の隙間に挿入可能な主アーム部と、前記進退方向に間隔を開けた状態で前記主アーム部上に配置されてその主アーム部の両側方に突出する複数の副アーム部とが設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  B65G 1/00 547 ,  B65G 49/06
FI (4件)：
H01L 21/68 B ,  B25J 15/06 M ,  B65G 1/00 547 B ,  B65G 49/06 A
Fターム (40件)：
3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS06 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW02 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT06 ,  3C007FT11 ,  3C007FU02 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK10 ,  3F022KK20 ,  3F022MM17 ,  5F031CA05 ,  5F031DA17 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA05 ,  5F031GA06 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA46 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031LA08 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031PA13
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM