特許
J-GLOBAL ID：200903082136724705

結晶保持装置

発明者：
蔭山 輝夫

蔭山 輝夫 について

, 
明石 義弘

明石 義弘 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-276634
公開番号（公開出願番号）：特開2001-097798
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：
【要約】【課題】 単結晶を上端部で機械的に保持して引上げる結晶保持装置を小型化する。結晶保持に伴う結晶育成への悪影響を回避する。【解決手段】 単結晶を保持して引上げために昇降及び回転を行う円筒状のフレーム30に、複数の回動式クランプ40,40を周方向に等間隔で取り付ける。フレーム30内を上昇するシードチャック2に押されて、回動式クランプ40,40を開状態から閉状態に移行させるクランプ操作機構50を、フレーム30内に組み込む。クランプ操作機構50は、回動式クランプ40,40の内側を種絞り部が通過するときに、開状態から閉状態への移行を行い、移行後は回動式クランプ40,40を解放する。
請求項（抜粋）：
CZ法により育成される単結晶を上端部で保持して引上げる結晶保持装置であって、単結晶を育成するための引上げ軸が内側を挿通し、育成結晶を引上げるために昇降及び回転を行うフレームと、育成結晶の上端部を把持するために、フレームの周方向複数箇所に回動自在に取付けられた複数の回動式クランプと、フレーム内に昇降自在に組み込まれ、引上げ軸の下端部に連結されたシードチャックに押し上げられてフレーム内を上昇し、その上昇により複数の回動式クランプを開状態から閉状態に移行させるクランプ操作機構とを具備することを特徴とする結晶保持装置。
Fターム (3件)：
4G077AA02 ,  4G077CF10 ,  4G077PH03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)

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