特許

J-GLOBAL ID：200903082287691760

誘導結合プラズマ質量分析方法

発明者： 荻原 忠幸 ,  帆前 雅博 ,  高瀬 可浩
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141707
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324476
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 共存物質や共存物質とガス成分の結合した分子イオンなどのピークが目的元素の質量スペクトルのピークに重なるような場合にも、精度よく目的元素の定量を行うことが可能な誘導結合プラズマ質量分析方法を提供する。【解決手段】 試料中の微量物質を定量する際に、共存物質や共存物質とガス成分の結合した分子イオンなどのピークが目的元素の質量スペクトルのピークに重なる場合に、任意に選んだ重なりのある2本のピークの強度から、式(1)によって、補正強度を求めることにより、目的元素の定量を行う。I’=iI-(iDB/jDB)jI ......(1)I’:補正強度iI :質量数iの測定強度iDB:妨害イオンの質量数iの同位体比

請求項（抜粋）：

(a)試料中の共存物質、ガス成分(大気、プラズマガス)、及びこれらの結合した分子イオンの質量スペクトルのピークの少なくとも一つが、測定元素の質量スペクトルのピークに重なるスペクトル干渉を起こす場合であって、かつ、目的元素の質量スペクトルのピークに、妨害イオンの質量スペクトルのピークと重ならないピークがない場合、又は、(b)試料中の共存物質、ガス成分(大気、プラズマガス)、及びこれらの結合した分子イオンの質量スペクトルのピークの少なくとも一つが、測定元素の質量スペクトルのピークに重なるスペクトル干渉を起こす場合であって、かつ、目的元素の質量スペクトルのピークのうちの、妨害イオンの質量スペクトルのピークと重ならないピークの強度が、妨害イオンの質量スペクトルのピークと重なりのあるピークの強度の10分の1未満である場合、のいずれかの場合において、任意に選んだ重なりのある2本のピークの強度から、式(1)によって、補正強度を求めることにより、目的元素の定量を行うことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析方法。I’=iI-(iDB/jDB)jI ......(1)I’:補正強度iI :質量数iの測定強度iDB:妨害イオンの質量数iの同位体比

IPC (2件)：

G01N 27/62 ,  H01J 49/26

FI (2件)：

G01N 27/62 D ,  H01J 49/26

Fターム (1件)：

5C038HH28

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 質量分析方法および質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-047064   出願人：株式会社日立製作所
• プラズマイオン源質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-204817   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 特開平4-366759
  
• 全リンの分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-181891   出願人：株式会社住化分析センター
• 誘導結合プラズマ質量分析装置及びその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-003361   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-207393   出願人：株式会社島津製作所
• 高分解能質量分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-247771   出願人：日本電子株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

• “誘導結合プラズマ質量分析法による環境水及び水道水中のヒ素の定量分析”
• “ICP-MS干渉補正式によるEr2O3中のW,Pbの定量”