特許
J-GLOBAL ID：200903082681298306

感光性ポリベンゾオキサゾ-ル樹脂多層有機膜及びレリ-フパタ-ンの形成方法

発明者：
楠木 淳也

楠木 淳也 について

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番場 敏夫

番場 敏夫 について

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平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-372208
公開番号（公開出願番号）：特開2000-194131
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 樹脂膜の積層による耐熱樹脂の厚膜化を可能にし、且つ、樹脂層間の密着性に優れた多層有機膜及びレリーフパターンを提供する。【解決手段】 感光性ポリベンゾオキサゾール樹脂の多層有機膜であり、感光性ポリベンゾオキサゾール樹脂を塗布、パターン加工を行った後、加熱硬化し、更にその上に、同樹脂を塗布、パターン加工後、加熱硬化を繰り返すことによりレリーフパターンを得る方法である。
請求項（抜粋）：
支持体上に感光性ポリベンゾオキサゾール樹脂膜を多層に形成してなることを特徴とする感光性ポリベンゾオキサゾール樹脂多層有機膜。
IPC (5件)：
G03F 7/022 601 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/095 ,  H01L 21/027 ,  C08G 69/42
FI (5件)：
G03F 7/022 601 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/095 ,  C08G 69/42 ,  H01L 21/30 564
Fターム (55件)：
2H025AA00 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC70 ,  2H025BC77 ,  2H025BE01 ,  2H025DA18 ,  2H025EA10 ,  2H025FA01 ,  2H025FA04 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J001DA01 ,  4J001DB02 ,  4J001DB04 ,  4J001DC10 ,  4J001DC14 ,  4J001DC16 ,  4J001DC22 ,  4J001DC24 ,  4J001DD05 ,  4J001EB35 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB55 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EC23 ,  4J001EC38 ,  4J001EC44 ,  4J001EC56 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001EE72D ,  4J001FA01 ,  4J001FB03 ,  4J001FC06 ,  4J001FD01 ,  4J001GA13 ,  4J001GE01 ,  4J001GE11 ,  4J001JA20 ,  4J001JB50 ,  5F046AA11 ,  5F046NA09 ,  5F046NA11
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (13件)
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