特許
J-GLOBAL ID：200903082831654602
負荷有効電力測定機能を有するインピーダンス整合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武石 靖彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235090
公開番号（公開出願番号）：特開2003-046359
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】 インピーダンス整合装置の回路要素の値を用いてプラズマチャンバー負荷の有効消費電力を正確に測定しようとする。【解決手段】 内部インピーダンスZ0 が既知の高周波電源と、プラズマチャンバー負荷3との間に挿入される装置である。装置は振幅調整用の第1可変リアクタンス1と、位相調整用の第2可変リアクタンス2とを有し、それらのリアクタンスをそれぞれ位相検出及び振幅検出部6の検出値に応じて制御することにより、負荷インピーダンスを整合させる。装置の出力端Out側から見た電源側インピーダンスを算出し、更にその共役インピーダンスをもって負荷インピーダンスZc =R±jXを定め且つ力率Cosθ=R/√(R2 +X2 )を算出して、負荷入力端の電圧実効値Vと電流実効値Iとの積に、力率Cosθを乗じた式P=VICosθより、高周波負荷が消費した有効電力を演算するための電力演算手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
内部インピーダンスZ0 が既知の高周波電源と、プラズマチャンバー負荷との間に挿入されるインピーダンス整合装置であって、入力端には位相検出部と振幅検出部を挿入すると共にそれら検出部の直後に振幅調整用の第1可変リアクタンスを接続し、前記第1可変リアクタンス接続位置以降に位相調整用の第2可変リアクタンスを接続するとともに、前記第2可変リアクタンス以降の出力端直前位置に電圧検出部と電流検出部を挿入し、前記第1及び第2の可変リアクタンスをそれぞれ前記位相検出部と振幅検出部の検出値に応じて制御することにより、高周波電源側と負荷側とのインピーダンスを整合させるようにしたインピーダンス整合回路と、前記整合状態のインピーダンス整合回路の出力端側から見た電源側インピーダンスを算出すると共に、その共役インピーダンスをもって負荷インピーダンス・ Zc =R±jX (1)と定め且つ力率Cosθを、・ Cosθ=R/√(R2 +X2 ) (2)より算出し、前記電圧検出部と電流検出部で検出した電圧実効値Vと電流実効値Iとの積に、力率Cosθを乗じた式・ P=VICosθ (3)より、高周波負荷が消費した有効電力を演算するための電力演算手段、を備えたことを特徴とするインピーダンス整合装置。
IPC (3件)：
H03H 7/40
, H01L 21/3065
, G05F 1/66
H03H 7/40
, G05F 1/66 Z
, H01L 21/302 B
5F004AA16
, 5F004CB07
, 5H420BB02
, 5H420BB15
, 5H420CC04
, 5H420DD03
, 5H420DD08
, 5H420EA00
, 5H420EA27
, 5H420EA47
, 5H420EB26
, 5H420FF03
, 5H420FF04
, 5H420FF11
, 5H420FF24
, 5H420FF25
, 5H420FF29
, 5H420GG07
