特許
J-GLOBAL ID:200903082857284366
超純水製造供給装置の抗菌方法及び抗菌装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
内山 充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-219215
公開番号(公開出願番号):特開2001-038364
出願日: 1999年08月02日
公開日(公表日): 2001年02月13日
要約:
【要約】【課題】超純水製造供給装置のサブシステムや、端末配管システムを、装置を停止することなく抗菌処理することができる超純水製造供給装置の抗菌方法及び抗菌装置を提供する。【解決手段】超純水製造供給装置における水経路に、溶存酸素濃度が50μg/L以下であり、水素ガスを溶解した、酸化還元電位が負の値を示す超純水を通水することを特徴とする超純水製造供給装置の抗菌方法、並びに、超純水製造装置、超純水製造装置からユースポイントへの超純水送り配管及びユースポイントからの超純水戻り配管の任意の位置の水経路に、水素ガス供給装置を接続してなることを特徴とする超純水製造供給装置の抗菌装置。
請求項(抜粋):
超純水製造供給装置における水経路に、溶存酸素濃度が50μg/L以下であり、水素ガスを溶解した、酸化還元電位が負の値を示す超純水を通水することを特徴とする超純水製造供給装置の抗菌方法。
IPC (5件):
C02F 1/50 510
, C02F 1/50 531
, C02F 1/50 540
, A61L 2/16
, C02F 1/32
FI (5件):
C02F 1/50 510 B
, C02F 1/50 531 J
, C02F 1/50 540 A
, A61L 2/16
, C02F 1/32
Fターム (16件):
4C058AA20
, 4C058BB07
, 4C058CC02
, 4C058CC04
, 4C058DD01
, 4C058DD03
, 4C058DD07
, 4C058JJ06
, 4C058JJ07
, 4C058KK02
, 4C058KK46
, 4D037AA03
, 4D037AB03
, 4D037BA18
, 4D037CA03
, 4D037CA15
引用特許:
出願人引用 (7件)
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電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-237294
出願人:オルガノ株式会社, 株式会社フロンテック
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純水又は超純水の精製方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-140593
出願人:株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所, 荏原インフィルコ株式会社
-
洗浄水製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-160091
出願人:株式会社荏原製作所
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水中の溶存酸素除去方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-273128
出願人:オルガノ株式会社
-
特開平3-165889
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超純水オゾン殺菌方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-189251
出願人:ペルメレック電極株式会社
-
超純水製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-223686
出願人:旭化成工業株式会社
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審査官引用 (8件)
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電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-237294
出願人:オルガノ株式会社, 株式会社フロンテック
-
純水又は超純水の精製方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-140593
出願人:株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所, 荏原インフィルコ株式会社
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超純水製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-343755
出願人:野村マイクロ・サイエンス株式会社
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洗浄水製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-160091
出願人:株式会社荏原製作所
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水中の溶存酸素除去方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-273128
出願人:オルガノ株式会社
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特開平3-165889
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超純水オゾン殺菌方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-189251
出願人:ペルメレック電極株式会社
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超純水製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-223686
出願人:旭化成工業株式会社
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