光デバイス及び露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-121102
公開番号（公開出願番号）：特開2008-276008
出願日： 2007年05月01日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】光出力の低下を抑制することができる光デバイス及び露光装置を提供する。【解決手段】光デバイス10は、短波長(例えば160〜500nm)のレーザ光を出射するレーザ光源12、レンズ14、透明部材16、及び接合阻害膜17が形成された光ファイバ18を含んで構成されている。また、透明部材16と接合阻害膜17が形成された光ファイバ18との当接面20における光密度が4464[W/mm2]以下となるように光デバイスが構成されている。これにより、融着による光出力の低下を抑えることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定波長の光を出力する光源と、前記所定波長の光を透過する第1の光学部材と、前記第1の光学部材と当接され前記所定波長の光を透過する第2の光学部材と、を備えた光デバイスであって、前記所定波長が160〜500[nm]であり、かつ前記第1の光学部材と前記第2の光学部材との当接面に接合阻害膜が設けられ、前記当接面における光密度が4464[W/mm2]以下であることを特徴とする光デバイス。

IPC (4件)：

G02B 6/42 , H01S 5/022 , H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (4件)：

G02B6/42 , H01S5/022 , H01L21/30 515D , G03F7/20 505

Fターム (36件)：

2H097BA10 , 2H097CA17 , 2H097EA01 , 2H137AA13 , 2H137AA17 , 2H137AB06 , 2H137AC02 , 2H137AC12 , 2H137BA01 , 2H137BA12 , 2H137BA13 , 2H137BB02 , 2H137BB08 , 2H137BC02 , 2H137BC71 , 2H137CA15A , 2H137CA22E , 2H137CA35 , 2H137CA74 , 2H137DB01 , 2H137DB08 , 2H137DB09 , 2H137FA00 , 5F046CA03 , 5F046CB01 , 5F046CB04 , 5F046CB12 , 5F046CB19 , 5F173MA10 , 5F173MB05 , 5F173MC04 , 5F173ME23 , 5F173MF03 , 5F173MF23 , 5F173MF39 , 5F173MF40

引用特許：

出願人引用 (4件)

国際公開2004/68230号パンフレット
レーザ入力用光ファイバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-113058 出願人：昭和電線電纜株式会社
レーザモジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-209656 出願人：富士フイルムホールディングス株式会社

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審査官引用 (5件)

光モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-251596 出願人：富士フイルム株式会社
レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-176109 出願人：三菱電機株式会社, レーザー濃縮技術研究組合
レーザモジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-187570 出願人：富士フイルム株式会社

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