プラズマエッチング装置用部材及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-096896
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297809
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【目的】プラズマに対する耐エッチング性が高く維持でき異常なエッチングの発生がなく、長時間使用できるプラズマエッチング装置用部材及びその製造方法を提供すること。【解決手段】石英ガラス、アルミニウム、アルマイト又はそれらの組み合わせからなる部材の表面に酸化イットリウム又はYAGの被膜を形成したことを特徴とするプラズマエッチング装置用部材及びその製造方法。

請求項（抜粋）：

石英ガラス、アルミニウム、アルマイト又はそれらの組み合わせからなる部材の表面に酸化イットリウム又はYAGの被膜を形成したことを特徴とするプラズマエッチング装置用部材。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , C23C 4/02 , C23C 4/10

FI (3件)：

C23C 4/02 , C23C 4/10 , H01L 21/302 101 G

Fターム (19件)：

4K031AA04 , 4K031AB02 , 4K031AB03 , 4K031AB10 , 4K031BA02 , 4K031CB37 , 4K031CB42 , 4K031CB43 , 4K031CB47 , 4K031DA03 , 4K031DA04 , 4K031FA10 , 5F004AA15 , 5F004AA16 , 5F004BB29 , 5F004BD03 , 5F004DA01 , 5F004DA26 , 5F004DB03

引用特許：

審査官引用 (5件)

処理装置およびそれに用いられる耐食性部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-373973 出願人：東京エレクトロン株式会社
耐蝕性部材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-277818 出願人：日本碍子株式会社
耐プラズマ性部材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-221844 出願人：東芝セラミックス株式会社, 株式会社東芝

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