特許
J-GLOBAL ID：200903083356971750
電子写真感光体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荻上 豊規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-124669
公開番号（公開出願番号）：特開平10-301310
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【目的】 いかなる環境下においても、電子写真感光体の加温手段を設けることなく画像ボケや画像流れのない高品質な画像が得られ、かつその特性を維持するに足る高耐久性を有し、転写効率が高く、クリーニング部材の簡素化に有利であるばかりか、クリーニング不良や融着が生じず、高品位な画像が経時的に変化することなく安定的に得られる電子写真感光体と、その製造方法を提供することにある。【構成】 導電性基体と、該基体上に少なくともシリコン原子を母体とする非単結晶材料の光導電層と、該光導電層の上に、少なくともフッ素原子を含む非単結晶炭素の表面層とを有し、該表面層を、フッ素を含むガスを高周波電力により分解したプラズマによって、エッチング速度0.1〜50Å/secで少なくとも20Å以上エッチングすることにより、該表面層の膜厚を100〜10000Åとし、フッ素原子が該表面層の表面を覆うように存在していることを特徴とする電子写真感光体とその製造方法。
請求項（抜粋）：
導電性基体と、該基体上に少なくともシリコン原子を母体とする非単結晶材料の光導電層と、該光導電層の上に、少なくともフッ素原子を含む非単結晶炭素の表面層とを有し、該表面層を、フッ素を含むガスを高周波電力により分解したプラズマによって、エッチング速度0.1〜50Å/secで少なくとも20Å以上エッチングすることにより、該表面層の膜厚を100〜10000Åとし、フッ素原子が該表面層の表面を覆うように存在していることを特徴とする電子写真感光体。
IPC (4件)：
G03G 5/08 301
, G03G 5/08 311
, G03G 5/08 331
, G03G 5/08 360
G03G 5/08 301
, G03G 5/08 311
, G03G 5/08 331
, G03G 5/08 360
