特許
J-GLOBAL ID：200903083738269002
観察機能付III族窒化物結晶、成長装置、方法、およびデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯村 雅俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145706
公開番号（公開出願番号）：特開2003-081696
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：
【要約】【課題】工程の複雑化をなくし、高価な反応容器を用いることも無く、結晶の大きさが小さくなること無く、高コストになること無く、高性能の発光ダイオードやLD等のデバイスを作製するために実用的な大きさのIII族窒化物結晶の実現、及びその結晶を成長させる成長装置、成長方法を実現する。【解決手段】反応容器101内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物混合融液103を形成しており、この混合融液103と少なくとも窒素を含む物質102から、III族金属と窒素から構成されるIII族窒化物を結晶成長させる結晶成長装置において、反応容器外部より反応容器内部が観察可能な機能を有する。106は加熱装置、窓108の外側のレンズ109を介して、CCD110を有するモニタ111により容器101内を観察することができる。
請求項（抜粋）：
反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質が混合融液を形成しており、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質から、III族金属と窒素から構成されるIII族窒化物を結晶成長させる結晶成長装置において、該反応容器の外部より該反応容器の内部を観察可能にする手段を有することを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/38 D
, H01L 21/208 D
4G077AA02
, 4G077AA03
, 4G077BE15
, 4G077CC04
, 4G077EA02
, 4G077EA04
, 4G077EH10
, 4G077HA02
, 4G077HA12
, 5F053AA03
, 5F053GG01
, 5F053HH01
, 5F053LL03
, 5F053RR20
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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