特許
J-GLOBAL ID：200903083764983570
機能性薄膜形成装置及び形成方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-027022
公開番号（公開出願番号）：特開2003-225600
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、基板の板面に均一な厚さの機能性薄膜を形成することができる機能性薄膜形成装置を提供することにある。【解決手段】 ノズルから機能性薄膜を形成する溶液をインクジェット方式で噴射して基板Wの板面に塗付する塗付装置1と、上記塗布装置によって基板Wの板面に塗付された溶液を焼成する焼成装置2と、上記塗布装置によって板面に塗付された溶液が流動してほぼ平坦になってからその基板Wを上記と塗付装置から上記焼成装置に受け渡すスカラーロボット3とを具備した。
請求項（抜粋）：
ノズルから機能性薄膜を形成する溶液をインクジェット方式で噴射して基板の板面に塗付する塗付装置と、上記塗布装置によって基板の板面に塗付された溶液を焼成する焼成装置と、上記塗布装置によって板面に塗付された溶液が流動してほぼ平坦になってからその基板を上記塗付装置から上記焼成装置に受け渡す受渡し手段とを具備したことを特徴とする機能性薄膜形成装置。
IPC (4件)：
B05C 5/00 101
, B05C 9/14
, B05D 1/26
, B05D 3/02
B05C 5/00 101
, B05C 9/14
, B05D 1/26 Z
, B05D 3/02 Z
4D075AC07
, 4D075AC09
, 4D075AC73
, 4D075AC74
, 4D075AC78
, 4D075BB26Z
, 4D075BB28Z
, 4D075BB93Z
, 4D075BB95Z
, 4D075CA48
, 4D075DA06
, 4D075DB04
, 4D075DB13
, 4D075DC22
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EB39
, 4F041AA02
, 4F041AA06
, 4F041AB02
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F042AA02
, 4F042AA07
, 4F042AA10
, 4F042BA04
, 4F042BA19
, 4F042DB04
, 4F042DB06
, 4F042DB21
, 4F042DC01
, 4F042DF07
, 4F042DF25
, 4F042DF29
