特許
J-GLOBAL ID：200903083956894792

光走査装置

発明者：
望月 栄二

望月 栄二 について

, 
藤井 光美

藤井 光美 について

, 
齋藤 哲郎

齋藤 哲郎 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-029209
公開番号（公開出願番号）：特開2008-197140
出願日： 2007年02月08日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：
【課題】一対の捻り梁を軸としてミラー部材が往復振動する光走査装置の共振周波数調整機構等の改良。【解決手段】捻り梁2の支点側端はフレーム1に固定される。捻り梁2は一対のカンチレバーの非固定側端に結合される。カンチレバー4上に駆動用圧電素子8が形成される。カンチレバー4の固定側端の近傍部位にバネ部4aが形成され、このバネ部4aに櫛歯状の電極5が、これに対向した櫛歯状の電極6がフレーム1側にそれぞれ形成される。電極5,6間の印加電圧を変化させるとカンチレバー4に働く引っ張り力が変化するため捻り梁2のバネ定数が変化する結果、ミラー部材3の共振周波数が変化する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、 前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、 前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対のカンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対のカンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、 前記カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための圧電素子が該カンチレバーに形成され、 前記カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、 前記カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための互いに対向する第1電極及び第2電極が、該カンチレバーのバネ部及び固定部材にそれぞれ形成され、 対向した前記第1、第2電極間の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする光走査装置。
IPC (2件)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00
Fターム (5件)：
2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB34 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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