特許
J-GLOBAL ID：200903046405777008

周波数変調可能な共振型スキャナー

発明者：
李 柱 賢

李 柱 賢 について

, 
趙 鎭 佑

趙 鎭 佑 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-322154
公開番号（公開出願番号）：特開2005-141229
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 周波数変調可能な共振型スキャナーを提供する。【解決手段】 ミラー面が上部に形成されたステージの駆動方向に対して垂直方向に形成されたベンディングばねのばね定数を増加させる手段を具備するスキャナー。これによれば、ステージを支持するベンディングばねのばね定数を増加させることによってステージの共振周波数を調節してスキャナーを使用できる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板から所定高さ離隔されて配置され、その上面に光走査面が形成されたステージと、 前記ステージの対向する両側に形成された多数の第1駆動櫛型電極と、 前記ステージの対向する両側から所定距離離隔されて前記基板上に固定され、前記第1駆動櫛型電極間に交互に配置された多数の第1固定櫛型電極が一側に形成された第1アンカーと、 前記ステージの他の対向する両側の中央部にその一端がそれぞれ連結された少なくとも一つの第1ベンディングばねと、 前記第1ベンディングばねの他端が連結され、前記基板から上方に所定距離離隔された慣性部と、 前記第1アンカーの両側に位置し、前記基板上に固定された第2アンカーと、 前記慣性部と前記第2アンカー間を連結する第2ベンディングばねと、 前記慣性部を前記第1ベンディングばねと逆方向に引き付ける慣性部引張手段と、を具備することを特徴とする1軸駆動光スキャナー。
IPC (3件)：
G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  H04N1/113
FI (3件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  H04N1/04 104Z
Fターム (11件)：
2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  5C072AA03 ,  5C072BA04 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072XA10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第6,535,325号明細書
審査官引用 (8件)
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